Kubischer Laser-Partikel zähler für die Überwachung der Reinraum-Luft-Sauberkeit

Laut den von SEMI ver öffentlich ten Branchen analysen ist die Mikro kontamination ein Schlüssel faktor für die Umwelt stabilität in kontrollierten Fertigungs umgebungen. Infolge dessen ist die Überwachung der Reinraum luft sauberkeit zu einem wesentlichen Bestandteil der Kontamination kontroll-und Qualitäts sicherungs programme auf Anlagen ebene geworden.

Feinstaub ist eine der Hauptquellen für Kontaminationen in der Luft in Reinraum umgebungen. Die kontinuierliche Überwachung von Partikeln in der Luft hilft den Anlagen betreibern, die Luft reinheit bedingungen zu überprüfen und die Einhaltung der Reinraum standards aufrecht zu erhalten.

Um eine kontinuierliche Überwachung der Reinraum umgebung zu unterstützen, bietet Cubic den OPC-6510DS optischen Online-Partikel zähler. zur Echtzeit messung der Partikel konzentration in der Luft in kontrollierten Umgebungen wie Elektronik herstellungs anlagen und anderen Reinraum anwendungen.

Die KubischeOPC-6510DSWird auf der Grundlage der Lasers treuung stech no logie entwickelt und ermöglicht die genaue Erkennung von Partikeln unterschied licher Größe innerhalb einer Luftvolumen einheit. Mit einem eingebauten Laser partikel zähler modul, einem konsistenten Drehzahl lüfter und einem Ultraschall-Durchfluss sensor liefert das OPC-6510DS eine stabile Abtast rate von 28,3 l/min. in Übereinstimmung mit ISO 14644-1 Reinraum klassifizierung sanford rungen.

Das Instrument unterstützt die gleichzeitige Ausgabe über fünf Partikel größen kanäle (> 0,3 μm, > 0,5 μm, > 1,0 μm, > 5,0 μm, >10 μm). in pcs/28,3 l oder pcs/m³ angegeben und ist für einen kontinuier lichen Betrieb rund um die Uhr ausgelegt, um eine stabile und langfristige Überwachung der Partikel werte in der Luft zu gewährleisten.

Darüber hinaus ist das OPC-6510DS mit einem integrierten Touchscreen für die Echtzeit visual isierung von Überwachungs daten und Reinraum klassifizierung stufen ausgestattet. Akustische und visuelle Alarme werden bereit gestellt, um Umwelt warnungen vor Ort zu unterstützen.

Überwachungs daten können über die Kommunikation von RS485 Modbus und MQTT übertragen werden. Dies ermöglicht die Integration in Anlagen überwachungs-oder Gebäude managements ysteme, wodurch rechtzeitige Maßnahmen zur Umwelt kontrolle unterstützt werden, um die Partikel konzentrationen in der Luft innerhalb vordefinierter Sauberkeit schwellen zu halten.